V001 / IJS / T110

Slika

Uredniki revije Plasma Sources Science and Technology so članek dr. Matjaža Panjana z Odseka za tanke plasti in površine izbrali kot enega najzanimivejših prispevkov v reviji. Članek so posebej predstavili na spletni strani in eno od slik izbrali za naslovnico revije. Magnetronsko naprševanje je tehnika za nanašanje tankih plasti, ki se uporabljajo v mikroelektroniki, fotovoltaiki, optiki ter drugih področjih sodobnih tehnologij. Za plazmo v magnetronu je do nedavnega veljalo prepričanje, da je ta homogeno porazdeljena v obliki obroča. Z uporabo visokohitrostne kamere pa je dr. Panjan pokazal, da plazma ni homogena, temveč zgoščena v manjših področjih. Ta področja imajo praviloma obliko podolgovate puščice in tvorijo različne vzorce, ki so odvisni od delovnega tlaka in parametrov razelektritve. Strukture se vrtijo v ravnini magnetrona in pomembno vplivajo na transport elektronov in ionov.