Laboratorij je opremljen s sodobno opremo in delno s posodobljeno opremo iz časa raziskav in razvoja zahtevnih optoelektronskih komponent, ki pa ima daljšo uporabnost kot sodobne elektronske komponente.
Osnovo za izvedbo fizikalnih eksperimentov, ki so izvedljivi le v vakuumu, so vakuumski sistemi, to je sklop črpalk, merilnikov, ventilov in povezav. Skupaj ima laboratorij 6 sistemov; na 5 od njih je za VV vgrajena turbomolekularna črplka, na enem pa kriogenska črpalka. Za vzdrževanje tlaka v UVV-območju so na 4 sistemih dodane ionsko-getrske črpalke, hkrati pa lahko UVV-del segrejemo na 200 °C. Za določanje sestave plinov ima vgrajenih 5 kvadropolnih masnih spektrometrov. Večina komponent je tesnjena z bakrenimi tesnili, elementi so narejeni iz nerjavnega jekla, delno pa iz stekla in keramike.
Opis sistemov
Univerzalni VV-sistem za črpanje manjših volumnov, območje 10-7 mbar
Laboratorijski VV-sistem za naparevanje tankih plasti iz termično segrete ladjice ali z žice (glavna je kriočrpalka, za določitev debeline plasti je vgrajena kremenova tehtnica), območje 10-7 mbar
Laboratorijski kovinski sistem za UVV-območje za črpanje majhnih volumnov, za območje 10-8 mbar
laboratorijski kovinski sistem za UVV-območje za črpanje preizkusne celice, kjer merimo hladno emisijo, za območje 10-8 mbar
Laboratorijski kovinski sistem za UVV-območje za določanje vsebnosti vodika v kovinskem vzorcu, ogrevanem z indukcijsko tuljavo, območje 10-8 mbar
Laboratorijski kovinski sistem za UVV-območje za črpanje preizkusne celice projekcijskega poljskega mikroskopa, za območje 10-10 mbar
Merilni instrumenti
Stabilizirani usmerniki za nizke in visoke napetosti, elektrostatični voltmetri, pikoampermetri modeli: Keithley 485, Keithley 6487, Keithley 6485, osciloskopi
Toplotna obdelava manjših komponent
Visokofrekvenčni generator 610 kHz, 12 kW za žarjenje v visokem vakuumu
Cevna žarilna peč, cev premera 120 mm, temperatura do 1000 °C, (vodikova ali dušikova atmosfera)