CENTER ZA ELEKTRONSKO MIKROSKOPIJO IN MIKROANALIZO (CEMM)
Vodja centra
Prof. dr. Miran Čeh, miran.ceh@ijs.si
Telefon: (01) 477 33 41, GSM: (041) 743 265
Faks: (01) 477 32 21
V CEMM so trije vrstični elektronski mikroskopi (JEOL JXA-840A, JEOL JSM-5800, JEOL JSM-7600F), dva presevna elektronska mikroskopa (JEOL JEM-2100, JEOL JEM-2010F) ter oprema za pripravo vzorcev.
Vrstična elektronska mikroskopija (SEM) se uporablja za opazovanje morfologije in strukture površin. Ker so vsi vrstični elektronski mikroskopi dopolnjeni z EDXS in/ali WDXS spektroskopijo, omogočajo tudi določevanje kemijske sestave preiskovanih materialov. Na vrstičnem elektronskem mikroskopu JEOL JSM-7600F sta dodatno nameščena sistema za uklanjanje povratno sipanih elektronov (EBSD) in elektronska litografija.
Kadar nas zanimajo strukturni elementi nano- dimenzij, uporabljamo presevno elektronsko mikroskopijo (TEM), ki omogoča celovit vpogled v strukturo preiskovanega materiala na nanometrskem in atomskem nivoju. Analitski presevni elektronski mikroskop JEOL JEM-2010F je opremljen s FEG-izvirom elektronov. Poleg tega ima mikroskop STEM enoto in detektorje za t.i. Z-kontrastno mikroskopijo (HAADF-STEM) in spektrometer za merjenje izgub energije elektronov (EELS). Oba presevna elektronska mikroskopa sta opremljena z EDXS in CCD kamero za zajemanje posnetkov. V CEMM je zbrana spremljajoča in nujna oprema za pripravo SEM- in TEM- vzorcev. Posebno pomembne so aparature za ionsko jedkanje, ki omogočajo pripravo tankih folij, ki so prepustne za visoko-energijske elektrone pri presevni elektronski mikroskopiji.